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山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司，成立于2014年5月，坐落于聊城市高唐經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)，是集半導(dǎo)體芯片濕制程專業(yè)的設(shè)備的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售、服務(wù)于一體的綜合性科技公司。公司已經(jīng)和山東大學(xué)微電子學(xué)院清洗技術(shù)中心加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作，共同深度研發(fā)濕制程技術(shù)。公司目前已申請(qǐng)國(guó)家專利30多項(xiàng)，其中發(fā)明專利8項(xiàng)，并成功申請(qǐng)省級(jí)專精特新企業(yè)，科技型中小企業(yè)，市級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，市級(jí)半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)中心，申請(qǐng)通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，ISO14001質(zhì)量環(huán)境體系認(rèn)證，半導(dǎo)體SEMI-S2專業(yè)認(rèn)證。涉及行業(yè)有半導(dǎo)體IC，MOS功率器件，MEMS, SIC, GaAs, GPP，CaN芯片，半導(dǎo)體陶瓷基片，半導(dǎo)體玻璃基片等行業(yè) 。主要設(shè)備有：全自動(dòng)腐蝕機(jī)，全自動(dòng)最終清洗機(jī)，全自動(dòng)去蠟清洗機(jī)，全自動(dòng)初步、通用清洗機(jī)，其中全自動(dòng)腐蝕清洗機(jī)已經(jīng)完全取代進(jìn)口設(shè)備，成功應(yīng)用于國(guó)內(nèi)大硅片龍頭企業(yè)， 還有全自動(dòng)RCA清洗機(jī)、全自動(dòng)鍍鎳鍍金清洗機(jī)全、全自動(dòng)去邊清洗機(jī)、全自動(dòng)二氧化硅蝕刻、全自動(dòng)爐管清洗機(jī)、全自動(dòng)金屬蝕刻機(jī)、全自動(dòng)BOE腐蝕清洗機(jī)、全自動(dòng)有機(jī)去膠清洗機(jī)、CDS(SDS)系統(tǒng)等等。