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山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司，成立于2014年5月，坐落于聊城市高唐經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，是集半導(dǎo)體芯片濕制程專業(yè)的設(shè)備的生產(chǎn)、研發(fā)、銷售、服務(wù)于一體的綜合性科技公司。公司已經(jīng)和山東大學(xué)微電子學(xué)院清洗技術(shù)中心加強產(chǎn)學(xué)研合作，共同深度研發(fā)濕制程技術(shù)。公司目前已申請國家專利30多項，其中發(fā)明專利8項，并成功申請省級專精特新企業(yè)，科技型中小企業(yè)，市級高新技術(shù)企業(yè)，市級半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)中心，申請通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，ISO14001質(zhì)量環(huán)境體系認(rèn)證，半導(dǎo)體SEMI-S2專業(yè)認(rèn)證。涉及行業(yè)有半導(dǎo)體IC，MOS功率器件，MEMS, SIC, GaAs, GPP，CaN芯片，半導(dǎo)體陶瓷基片，半導(dǎo)體玻璃基片等行業(yè) 。主要設(shè)備有：全自動腐蝕機，全自動最終清洗機，全自動去蠟清洗機，全自動初步、通用清洗機，其中全自動腐蝕清洗機已經(jīng)完全取代進口設(shè)備，成功應(yīng)用于國內(nèi)大硅片龍頭企業(yè)， 還有全自動RCA清洗機、全自動鍍鎳鍍金清洗機全、全自動去邊清洗機、全自動二氧化硅蝕刻、全自動爐管清洗機、全自動金屬蝕刻機、全自動BOE腐蝕清洗機、全自動有機去膠清洗機、CDS(SDS)系統(tǒng)等等。